金融界2024年6月18日消息，天眼查(cha)知识产权信息显示，沈阳芯(xin)源微电子设备股份有限公司取得一项名为“一种基于撕金去胶工(gong)艺后的(de)过滤装置”，授权公告号CN221155634U，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，本实用(yong)新型属于半导体晶圆湿法工(gong)艺设备领域，具体地说(shuo)是一种基于撕金去胶工(gong)艺后的(de)过滤装置，包括外筒体、精滤滤网安(an)装骨架(jia)、粗滤滤网安(an)装骨架(jia)、精滤滤网及粗滤滤网，精滤滤网安(an)装骨架(jia)设置于外筒体内侧，精滤滤网安(an)装骨架(jia)上安(an)装有精滤滤网，粗滤滤网安(an)装骨架(jia)设置于精滤滤网安(an)装骨架(jia)内侧，粗滤滤网安(an)装骨架(jia)上安(an)装有粗滤滤网。本实用(yong)新型通过设置粗滤滤网与精滤滤网两层组合的(de)过滤方式，分层拦截而避免所需(xu)拦截的(de)金属膜或光阻膜全(quan)部堆积在同一个滤网上，既(ji)可防止(zhi)大片金属膜或光阻膜在短(duan)时(shi)间内堵住滤网，也防止(zhi)了较(jiao)多细小金属膜屑和光阻穿过滤网给后端过滤原件造成压力；在提高过滤效率的(de)同时(shi)，可降低设备停机维护的(de)频次，降低过滤系统的(de)使用(yong)成本。

来源：金融界