金融(rong)界2024年6月18日(ri)消(xiao)息，天眼查知识(shi)产权信息显示，上海至纯洁净系统科技股份有限公司取得一项名为(wei)“一种具有加热功能(neng)的夹取器及湿法槽式(shi)清洗设备“，授权公告号CN109935540B，申请日(ri)期为(wei)2019年3月。

专利摘要显示，本发明公开了一种具有加热功能(neng)的夹取器及应用该(gai)夹取器的湿法槽式(shi)清洗设备，所(suo)述夹取器包括用以夹取清洗槽内的湿晶圆盒(he)的夹取手，以及用以带动夹取手动作的搬送机构；夹取手通过横杆与搬送机构相连(lian)接(jie)。本发明夹取器自带加热功能(neng)，当夹取器夹取湿晶圆盒(he)时，夹取器能(neng)够(gou)在搬送过程(cheng)中(zhong)，依(yi)靠其自身的加热温度(du)将湿晶圆盒(he)表面的水分蒸发掉，然后便(bian)可以将干晶圆盒(he)搬送至目标位置，由原(yuan)来配(pei)置干湿两个夹取器减少为(wei)一个夹取器，减小了生产成本。

来源：金融(rong)界