“光刻(ke)气系公司的拳头(tou)产品，公司自主研发的Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne4种光刻(ke)气是国内唯一(yi)一(yi)家(jia)同时通过荷兰ASML公司和日(ri)本GIGAPHOTON株式(shi)会社认证的气体公司，已经销售(shou)产生订单。同时，在2023年实现海外光刻(ke)气销售(shou)的历史性突破。”6月(yue)3日(ri)，华特(te)气体(688268)董事、总经理(li)傅铸红在2023年年度业绩说明(ming)会上(shang)表示。
资料显示，华特(te)气体的主营业务以特(te)种气体的研发生产及销售(shou)为核心，公司自主研发的氟碳类、光刻(ke)稀混气类、氢化物(wu)、氮氧化合物(wu)等产品主要应用在芯片(pian)制程工艺(yi)中的刻(ke)蚀、清洗、光刻(ke)、外延、沉积/成膜、离子注入等环节(jie)。
华特(te)气体董秘万(wan)灵芝在业绩说明(ming)会上(shang)介绍，公司的电子特(te)种气体产品在电子领域实现了包括(kuo)高纯四氟化碳、高纯六氟乙(yi)烷、光刻(ke)气、高纯二氧化碳、高纯一(yi)氧化碳、高纯氨、高纯一(yi)氧化氮、高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、锗烷、高纯乙(yi)烯等众多产品的进口替代。公司的拳头(tou)产品光刻(ke)气（Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne）通过了ASML和GIGAPHOTON的认证，是国内唯一(yi)通过两家(jia)认证的气体公司。
华特(te)气体副董事长石思慧也表示，2023年末(mo)，公司现已累(lei)计实现进口替代的产品超55种，另(ling)有在研项目57项在研项目中刻(ke)蚀类环节(jie)中应用的产品项目占(zhan)主要比例。公司自主研发的全产业链产品-锗烷通过了韩国最大存储(chu)器(qi)企业的5纳(na)米制程工艺(yi)产线的认证并产生订单。
石思慧透露，公司已成功实现了对国内8寸以上(shang)集成电路制造厂商(shang)超过90%的客户覆盖率，已有超20个产品供(gong)应到14nm、7nm等产线，并且公司的部(bu)分氟碳类产品、氢化物(wu)已进入到5nm的先进制程工艺(yi)中使用并不断扩大覆盖范围(wei)。在集成电路、显示面(mian)板等半导体领域，公司产品得到境内外大型半导体厂商(shang)一(yi)致认可，充分彰显了行业下游对公司产品质量和技术水平的认可。
2023年，华特(te)气体净利(li)润同比下降17.18%。对于业绩变动情况，万(wan)灵芝解(jie)释(shi)称，2022年稀有气体原料价格大幅上(shang)涨(zhang)导致公司产品价格和收入上(shang)涨(zhang)，2023年稀有气体原料回归(gui)正常水平，因此导致公司稀有气体产品销售(shou)价格和收入下降；同时受消费(fei)电子等需求(qiu)不振、下游半导体厂稼动率下降等影响(xiang)，导致2023年度公司电子特(te)气业务收入和营业利(li)润下降。
有投资者(zhe)关注现阶段下游半导体行业的恢(hui)复情况，傅铸红回复称，据（SEMI）联合发布的报告(gao)，随着电子板块销售(shou)额的上(shang)升、库存的稳定和晶圆(yuan)厂产能的增加，2024年第一(yi)季度全球半导体制造业出现改(gai)善迹象，预计下半年行业增长将更加强劲。
针对海外业务的情况，石思慧表示，2023年，公司立足原有海外客户，实现海外光刻(ke)气销售(shou)的历史性突破。同时进一(yi)步强化国际化布局，通过收购的海外公司赋能公司的多款产品已通过新加坡“3DNAND制造厂商(shang)”的认证。目前，公司在泰国的现场制气项目增加至3个。