【上海光学精密机械(xie)研究所高端光电装备(bei)部研究团队在干涉仪(yi)测试的(de)波(bo)前校(xiao)准方(fang)法研究获进展】相(xiang)关(guan)研究成果发表于 Optics Express，题为(wei)“High precision wavefront correction method in interferometer testing”。研究团队针对斐索干涉仪(yi)测试中波(bo)前误差与实际(ji)表面误差的(de)差异，提出新的(de)高精度(du)光学表面波(bo)前校(xiao)正方(fang)法，涵盖光学表面函数参数拟合等内容(rong)。并从多方(fang)面对该方(fang)法的(de)误差进行深入分析。零位测试配置中离轴抛(pao)物面镜的(de)波(bo)前校(xiao)准证(zheng)明其(qi)有效性，实验环形(xing)误差显著减小(xiao)，离轴方(fang)向(xiang)误差从 0.23λ提高到 0.05λ，非(fei)球面偏离的(de) PV 超过 8.5mm，在高精度(du)光学元件检测中有重要意义。