南大(da)光电6月18日在互(hu)动平台表(biao)示，目前通过验证(zheng)的(de)三(san)款ArF光刻胶有少(shao)量销售，质量稳(wen)定。具(ju)体量产进度需(xu)根据客户订单情况确定。公司正加速(su)推进产品验证(zheng)和市场拓展工作(zuo)，争取早日实现量产。